第九十一章 深硅刻蚀工艺

    “哦？都有哪些传感器？”

    孙厂长坐直了身体。

    “到目前为止，思路已经成熟的，除了上次展示过的加速度传感器，简单一些的压力传感器，水平传感器，还有飞机上会用到的高度传感器，空速传感器......”

    陈泉在黑板上，连续写下了一长串的名字。

    既然明白了“他”做的东西，都是传感器，再去寻找那二十多个实验的目的，就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构，陈泉还是摸不清头绪，但其中不少结构，每个实际可以有多种用途。

    更不提，“他”提供了好几种通用结构。

    所以，有些传感器，是原来“他”实验里包括的，但也有不少，是陈泉跟赵薇薇讨论后，自行扩展出来的。原理搞清楚了，可以很容易的举一反三。

    “还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

    “陀螺仪？陀螺仪也能用MEMS技术加工出来吗？”

    刘院长身边的中年人，站了起来。

    陀螺仪在很多场合，都是核心传感器。

    “您是？”

    孙厂长回头询问。

    “我是跟老刘一起来的，你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不问了。

    “你还没有回答我的问题呢？小伙子！”

    “哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂，我还特意带来了它的模型。”

    陈泉一摆手，曲燕秋就托着一套，由纸壳做的简陋样品，走上讲台。

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    微电子实验室。

    “你的手抖什么抖啊？这块晶圆片算是废了！”

    张栋被气得浑身发抖。“你知道，这块晶圆片值多少钱吗？加上刚才消耗的各种药水，制剂，一百元！让你一抖，就这么没了！”

    “没有全废吧。那一半不是还能用吗？”

    自知犯了大错的成兴，试图分辨。

    1989年的冰城，学生生活费，50元一个月能吃饱，100元，绝对能吃好。

    “哦，天啊！我真是受够了。”

    张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意！让这些连课都没上过的新生，做半导体实验？”

    “老张，有点耐心。”

    在旁边工作台做实验的科研人员，边操作，边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样，一看就会，一听就懂的。”

    “老师，让我们两个人一组吧。这次我们小心点。”

    云丽上前一步。

    有了台阶下，张栋的态度好了一点。“行，你跟成兴一组，于耀赢跟李季一组。剩下的冯言，自己一组。”

    被训得满脸通红的成兴，感激的看了一眼，身边不起眼的同班女生。

    在MEMS小组内，人虽然不多，但隐隐分成了几派。

    于耀赢，李季，都是陈泉和曲燕秋的嫡系，而冯言，干脆是陈泉二人的干姐姐，前些天发表的中文综述，还捞到了署名，心态都比较好。

    而云丽和成兴，被拉入小组，完全不知道背后的原因，比较忐忑，做事情也有些畏首畏尾。

    由于相似的处境，两个人最近有点抱团取暖的意思。

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    会议室。

    看到样品，感兴趣的客人，纷纷离开座位，围了过去。

    “这不对吧。”

    王工上上下下，里里外外的把样品看个通透。

    “什么不对？”

    冰飞的周总工，就在他的身边。

    “这种结构，以现在的MEMS工艺，根本加工不出来吧。”

    王工把模型举了起来，抬高到跟视线平齐。“我记得，MEMS所采用的牺牲层工艺，根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”

    牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”微机械加工概念由此产生。之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。

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