第二十章 真空镀膜（上）

    许秋找到陈婉清，请教接下来的实验操作。

    学姐拿出实验记录本，一边写写画画，一边讲解教学：

    “我们最终要得到的是多层结构的太阳能电池器件，比如现在做的这个体系，正结构就是Glass/ITO/PEDOT:PSS/P3HT:PC[60]BM：PC[70]BM/Ca/Al。

    共有六层结构，层与层之间用“/”分隔，“：”则表示该层是由两种或以上物质共混。

    那么，你这几天来做的工作就是：

    首先，清洗具有ITO图案的玻璃基片，得到Glass/ITO部分；

    然后，旋涂PEDOT:PSS溶液和有效层，得到PEDOT:PSS/P3HT:PC[60]BM：PC[70]BM部分；

    最后一步，也就是接下来要做的，是采用真空镀膜方法，将钙和铝蒸镀至基片上，得到Ca/Al部分。

    真空镀膜法，原理是在真空条件下，加热靶材，使之气化，最后由靶材形成的气态分子会在舱体内运动，最终均匀沉积在样品表面，形成薄膜。

    真空度越高，气体分子平均自由程越长。

    只有当舱体内气压低于一定阈值，才可以进行蒸镀。

    我们采用的加热方法有两种，一种是束源炉加热，另一种是钨丝加热。

    蒸镀的操作比较繁琐，有很多细节需要注意，所以我来亲自指导你。”

    “好的，学姐。”许秋道。

    …………

    两人做好防护，进入实验室。

    许秋先将旋涂好的基片，从旋涂手套箱中拿出，然后迅速转移至装有蒸镀装置的手套箱中。

    这个手套箱外接有三只橡胶手套，所以同时只能进入一个人。

    于是，许秋进入，学姐则在外面看着，并为他解惑。

    箱体内主要有两台大型设备，左边的是蒸镀装置。

    蒸镀舱的舱体是由厚重的钢板所制，舱门用轨道连接在舱体上。

    许秋将舱门朝右边推开，推着还蛮沉的。

    他好奇道：“学姐，这套设备也不便宜吧。”

    陈婉清：“整套设备差不多20万吧，包括蒸镀舱、分子泵、循环水、总控制台，是找沈羊一家专门做真空设备的公司订做的。他们公司离这边比较远，所以弄坏的话修起来也麻烦，上次循环水出了故障，他们过来修，路费就要了五千。”

    许秋：“学姐怎么知道的这么清楚？”

    陈婉清：“因为学校要统计实验室的固定资产，价格超过1000元的都要统计上报。实验室虽然是魏老师管，但所有权是归国家的，因为申请的科研经费是国家出的。除非是老板自掏腰包或者企业出钱，那就另说。”

    许秋点点头，开始打量舱体内部。

    下面有四个圆柱体形状的炉子，应该是束源炉。

    四个束源炉旁边有两个金属平台，每个平台上面都有一块金属板，大概六厘米长，三厘米宽，一厘米厚，金属板通过六角螺丝与平台连接，中间有一定的缝隙。

    “学姐，这个是干什么用的？”许秋指着平台问道。

    “这个是电流加热装置，将用钨丝制成的篓，放在两个平台间，用金属板压住钨篓两端，通电流对钨篓加热，可达到很高的温度，使其内部靶材气化，进行蒸镀。”陈婉清道。

    许秋继续看向舱体，中间部分有一探头状的物体，像个吊... -->>
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